極微小流量控制器是一個(gè)穩(wěn)流裝置，是一個(gè)可以手動(dòng)設(shè)定或與計(jì)算機(jī)聯(lián)接自動(dòng)控制的氣體穩(wěn)流裝置。它由流量傳感器、分流器通道、流量調(diào)節(jié)閥門和放大控制器等部分組成。氣體流量傳感器采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測(cè)量氣體的氣體質(zhì)量流量(無(wú)需溫度壓力補(bǔ)償)。
不但具有氣體質(zhì)量流量計(jì)的功能，更重要的是，它能自動(dòng)控制氣體流量，即用戶可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定，MFC自動(dòng)地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動(dòng)或環(huán)境溫度有變化，也不會(huì)使其偏離設(shè)定值。
工作原理：
極微小流量控制器將傳感器加熱電橋測(cè)得的流量信號(hào)送入放大器放大，放大后的流量檢測(cè)電壓與設(shè)定電壓進(jìn)行比較，再將差值信號(hào)放大后去控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過(guò)通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。分流器決定主通道的流量。與氣體質(zhì)量流量控制器配套的流量顯示儀上設(shè)置有穩(wěn)壓電源，數(shù)字電壓表，設(shè)定電位器，外設(shè)、內(nèi)設(shè)轉(zhuǎn)換和三位閥控開(kāi)關(guān)等。
主要功能特點(diǎn)：
1、采用采集傳感器信號(hào)，實(shí)現(xiàn)高精度和高穩(wěn)定性；
2、內(nèi)置完善的抗擾器件配合多級(jí)保護(hù)電路，保證了現(xiàn)場(chǎng)的高可靠性；
3、具有完善的數(shù)據(jù)備份與恢復(fù)功能，現(xiàn)場(chǎng)免維護(hù)；
4、功能完善的現(xiàn)場(chǎng)調(diào)試，可使用中文手持器全面支持其現(xiàn)場(chǎng)調(diào)試；
5、擁有高亮度紅色背光的進(jìn)度條LCD顯示器，顯示效果美觀；
6、穩(wěn)定性、精度和可靠性，性能優(yōu)異。
